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热门关键词:切片bobapp应用皮 切片金刚石bobapp应用液树脂铜盘/铁盘
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  • bobapp应用液的成份组成,其制作方法及使用范围不同

    bobapp应用液的成份组成,其制作方法及使用范围不同

    在半导体微电子工业领域中,离不开单晶硅、砷化镓晶体、蓝宝石、碳化硅等半导体材料。而为了保证在集成电路元器件的制造过程中的产品性能合格,工艺上会要求前道工艺的产品晶圆具有无表面损伤和无亚表层缺陷的高质量超光滑基材表面。无瑕疵、光洁的蓝宝石基片由于常用的半导体材料质地硬且脆,加工中极易产生脆裂而导致裂纹,因此欲将其加工至平整光洁,需寻找合适的方法。而到目前为止,没有哪一种比化学bobapp应用(CMP)技术更适合用于集成电路芯片的超精密加工的方法了。作为被公认的**的全局平面化技术,CMP技术结合了超细粒子的机械研磨作用与氧化剂的化学腐蚀作用,能使人们获得比以往任何平面加工更加出色的表面形貌变化。其中,bobapp应用液是CMP技术的关键之一(组成:磨料粒子、腐蚀介质和助剂),其性能直接影响着被bobapp应用工件的表面质量,目前国内外常用的有SiO2胶体bobapp应用液、CeO2bobapp应用液、Al2O3bobapp应用液、纳米金刚石bobapp应用液等。为了对bobapp应用液做进一步的了解及获得素材,丹阳中研科技拥有包括稀土bobapp应用粉、稀土bobapp应用液、SiO2bobapp应用液、ZrO2bobapp应用液、Al2O3研磨液、金刚石研磨液、碳化硼研磨液等在内的数十种bobapp应用产品,颇受海内外欢迎。下面便以这系列bobapp应用产品为例,细数它们在应用中一些的特点。SiO2胶体bobapp应用液<SiO2胶体bobapp应用液是以高纯度的硅粉或者水玻璃为原料,经过特殊工艺生产的一种高纯度金属离子型bobapp应用产品,广泛用于多种材料的高平坦化bobapp应用,如硅片、化合物晶体、金属、宝石等的bobapp应用加工。根据下游应用的不同,SiO2bobapp应用液的磨料粒径及pH值可进行调整(图:中研科技)SiO2的硬度和硅片的硬度相近,因此,对半导体硅片进行精bobapp应用时,磨削层的厚度仅为磨料粒子尺寸的四分之一。一般的生产情况下,除了通过提高产物的排除速率和加强化学反应来提高bobapp应用效率外,还会在精抛时采用纳米级的SiO2胶体来进一步减小表面粗糙度和损伤层的深度。稀土bobapp应用液氧化铈bobapp应用粉主要成份为二氧化铈(CeO2),其次分别为氧化镧(La2O3)、氧化镨(Pr2O3)、氧氟化镧(LaOF),此外还含有微量的氧化硅、氧化铝和氧化钙,是玻璃bobapp应用的通用磨削材料。两种不同型号的稀土bobapp应用液,区别在于稀土的组成及占比(图:中研科技)随着工件尺寸的缩小,传统的硅容易在尺寸较大的集成电路浅沟槽隔离(ShallowTrenchIsolation,STI)处形成蝶形缺陷。而以二氧化铈作为研磨颗粒的第二代bobapp应用液,具有高选择性和bobapp应用终点自动停止的特性,配合粗抛和精抛,能够十分有效地解决第一代STI工艺缺点,是目前重点发展的产品类型之一。不过由于铈属于稀有金属,并且二氧化铈提纯难度大,因此价格较为昂贵。此外,二氧化铈的粒度是影响bobapp应用效果的关键参数之一,因此纳米级二氧化铈的制备及应用成为了当前研究热点之一。Al2O3bobapp应用液蓝宝石晶片作为*常用的一种衬底材料之一,它的bobapp应用成为了关注的焦点。由于α-Al2O3的硬度高,稳定性好,因此它在处理蓝宝石时,与SiO2等软质磨料相比在去除速率上有着明显的优势。除此之外,Al2O3bobapp应用液还十分适用于光学镜头、单芯光纤连接器、微晶玻璃基板、晶体表面等的精密bobapp应用,应用相当广泛。优秀的Al2O3bobapp应用液应具有顆粒分散均匀,不团聚,悬浮性好等特点(图:中研科技)化学机械研磨,晶圆制造中,随着制程技术的升级、导线与栅极尺寸的缩小,光刻(Lithography)技术对晶圆表面的平坦程度(Non-uniformity)的要求越来越高,IBM公司于1985年发展CMOS产品引入,并在1990年成功应用于64MB的DRAM生产中。1995年以后,CMP技术得到了快速发展,大量应用于半导体产业。化学机械研磨亦称为化学机械bobapp应用,其原理是化学腐蚀作用和机械去除作用相结合的加工技术,是目前机械加工中**可以实现表面全局平坦化的技术。由于CMP中的bobapp应用垫采用聚氨酯等材料制成,在bobapp应用过程中bobapp应用垫表面发生形变,bobapp应用垫与基片直接接触区域01不产生bobapp应用效果。因此非接触区域02的bobapp应用效率决定了整个bobapp应用片的bobapp应用速率。由图1所示,如果二氧化铈粒径分散度较大,非接触区域02部分则仅有尺寸较大的颗粒参与机械磨削,bobapp应用效率较低。同时,粒径较大的纳米颗粒也会导致bobapp应用表面受到研磨损伤,不利于无机绝缘薄膜的高精度bobapp应用。二氧化铈作为一种重要的稀土化合物,其纳米颗粒由于具有特殊的物理化学性质,已广泛应用于环境检测仪敏感材料、汽车尾气催化剂、储氧材料、燃料电池等领域。近年来,随着集成电路产业的飞速发展,化学机械bobapp应用(CMP)技术作为仅有的能够实现全局平坦化的工艺,已成为IC制造领域的关键技术。以二氧化铈作为研磨料的bobapp应用液可以与SiO2发生化学反应,通过化学结合Si-O-Cebobapp应用SiO2,因此对SiO2的去除速率快。且不同于胶体SiO2等bobapp应用浆料需要在碱性溶液中保存,二氧化铈基bobapp应用液可以在pH值中性条件下稳定存在,因此在浅沟道隔离、层间介质(ILD)bobapp应用等平坦化工艺中均有广泛的应用。<br>另外,由于氧化铈硬度低于氧化硅颗粒以及氧化铝颗粒,不容易造成表面损伤,因此也可以作为光掩模、光学透镜、Ⅲ-Ⅳ族砷化镓晶片的镜面bobapp应用。在氧化铈基CMPbobapp应用液中,为了获得更快的bobapp应用速率和更高的表面平整度,迫切需要痕量金属污染物少、球形、粒径分布均匀的氧化铈纳米颗粒
  • 蓝宝石bobapp应用工艺

    蓝宝石bobapp应用工艺

    在蓝宝石的bobapp应用工艺中, 常用的磨料主要包括金刚石、二氧化硅溶胶、氧化铈和氧化铝等磨料。 实验数据表明,a-氧化铝bobapp应用粉(0.3um,球型)在蓝宝石bobapp应用过程中的优势明显,****。 其一:bobapp应用粉硬度比较: 1) 金刚石只用于传统的机械bobapp应用,其硬度(莫氏10)比蓝宝石(莫氏 9)硬度高,容易产生划伤,蓝宝石表面损伤度高,良率低。 2)氧化铝的硬度与蓝宝石相当,颗粒球型,bobapp应用速率高,不易起划伤,良率高,是比较理想的bobapp应用材料。 3)SiO2硬度(莫氏硬度7.5)比蓝宝石低,bobapp应用速率比氧化铝bobapp应用粉慢很多,bobapp应用比较耗时。 其二:bobapp应用效果比较: 在bobapp应用C-平面蓝宝石衬底时,a-氧化铝bobapp应用粉(0.3um)制成的研磨液的bobapp应用性能(去除速率和表面质量等)优于其他磨料, 具体表现如下: 1)形成的水化层增加,bobapp应用过程中,在蓝宝石基底上持续形成水化层,它比基底层软,该层的形成有利于材料的去除,并产生高质量表面。 2)表面质量改善,a-氧化铝与基底蓝宝石的硬度一样,因此,磨料划伤蓝宝石的可能性很小。 3)去除速率增加,a-氧化铝磨料经历了与基底蓝宝石一样的表面水化,在基底宝石与磨料水化层之间的化学机械作用加速了材料去除,当磨料和基底蓝宝石的表面在bobapp应用压力下靠在一起并剪切时,就相互粘附,进一步的剪切就会使粒子撕开键合的水化层,通过粒子的前边沿促进材料去除。表面粗糙度能小于0.2nm. 4)氧化铝bobapp应用液在循环过程中稳定性更好,二氧化硅bobapp应用液在使用过程中温度必须严格控制,以防止结块,但氧化铝研磨液就比较稳定,也显示了很好的洁净度。 实验1:采用氧化铝bobapp应用粉对蓝宝石衬底进行bobapp应用,bobapp应用液的pH为10时bobapp应用****,表面粗糙度RMS可达0.2nm。bobapp应用压力在0. 12Mpa 至0. 15Mpa ,bobapp应用液浓度为10%时较佳。浓度越高,bobapp应用速率越快。 目前很多**的蓝宝石加工厂正在评估并使用基于氧化铝研磨液用于更大直径晶圆bobapp应用。 来源:宣城晶瑞新材料有限公司
  • 研磨专家教你如何选购研磨液

    研磨专家教你如何选购研磨液

    五金行业的迅速发展,让市场上出现很多种类的研磨液,比如bobapp应用的,比如光亮加防锈,比如去毛刺的等等;这些使大家对选购研磨液造成一定的烦恼。你首先得确认你用它来做什么,大概可分为研磨、bobapp应用、去毛刺、倒角等几个目的。当下很多五金加工厂,手机配件加工厂等客户的产品要求越来越高,因此怎么选择研磨液也就至关重要了。 选购研磨液,要考虑下面几个问题:  1.是要bobapp应用增加光亮度,还是研磨去毛刺,目的要清楚;  2.根据自己公司环境和客户要求,选择酸性还是碱性;  3.了解自身产品的材质,和目前所用的研磨bobapp应用机而选择研磨液;  4.根据你的预算而选择研磨液,研磨液哪家好?研磨液特点:  1.软化作用:即对金属表面氧化膜的化学作用,使其软化,易于从表面研磨除去,以提高研磨效率。  2.润滑作用:像研磨润滑油一样,在研磨块和金属零件之间起润滑作用,从而得到光洁的表面。  3.洗涤作用:像洗涤剂一样,能除去金属零件表面的油污。  4.防锈作用:研磨加工后的零件,未清洗前在短时间内具有一定的防锈作用。  5.缓冲作用:在光饰加工运转中,与水一起搅动,会缓解零件之间的相互撞击。  什么研磨液*适合你呢?根据你自已对研磨液的需求,加上这些选购研磨液的依据,我相信你能够选择一款适合自已的研磨液,根据自已自身的情况,购买研磨液用来干什么,使用需要注意安全,使用研磨液研磨注意事项有那些?  寻找心中**的研磨液也不是很困难,只要根据你的客户需求,根据使用环境选择合适的,总的来说选择一家质量过硬,资质良好研磨液厂家是至关重要的,该说的都说了,该试的也试了,你就会找到合适你的研磨液。现在的研磨液厂家,一般都会免费寄样品试样,你可以多找几家都试一下,看那一款能达到你的*好要求。不过,研磨液属于化学产品,环保一定要过关。所以这一点也是要考虑的。
  • 氧化铈研磨液应用技术

    氧化铈研磨液应用技术

    氧化铈是一种重要的稀土氧化物,主要用于冶炼金属铈和各种材料的添加剂。从1940年开始,高氧化铈含量的稀土bobapp应用粉开始取代氧化铁(即铁红)用于玻璃bobapp应用,成为玻璃bobapp应用加工过程中的关键工艺材料之一。与传统bobapp应用粉—氧化铁相比,稀土bobapp应用粉具有bobapp应用速度快,光洁度高和使用寿命长的优点,而且能改变bobapp应用质量和操作环境。例如用氧化铈bobapp应用粉bobapp应用透镜,一分钟完成工作量,如用氧化铁bobapp应用粉则需要30~60分钟。氧化铈在玻璃bobapp应用中的优异性能在于铈元素的多价态及其易转化特性,Ce(+3)/Ce(+5)的氧化还原反应会破坏硅酸盐晶格,并通过化学吸附作用,使玻璃表面与bobapp应用剂接触的物质(包括玻璃及水解化合物)被氧化或形成络合物而被除去。此外,氧化铈对二氧化硅质玻璃、晶体,氟化钙等晶体具有同样的bobapp应用特性。一、 氧化铈bobapp应用粉分类由于氧化铈对二氧化硅质玻璃、晶体等具有优异的性能,氧化铈研磨液的分类主要依据氧化铈含量及微粉粒度进行。1. 低铈bobapp应用粉低铈bobapp应用粉一般含有50%左右的CeO2,其余50%为La2O3,Nd2O3,Pr6O11等或LaOF、NdOF、PrOF等碱性氟化物。由于含有镨元素(Pr),外观表现为红色或棕红色,镨含量越高颜色越深。随着科技的进步以及对镨元素的开发利用,低铈bobapp应用粉镨元素被提炼出来,因此也出现白色低铈bobapp应用粉产品。此类bobapp应用粉价格低,但初始bobapp应用能力与高铈bobapp应用粉几乎没有差别,因而广泛用于平板玻璃、显像管玻璃、眼镜片等低端产品玻璃的bobapp应用,但使用寿命要比高铈bobapp应用粉低。                                     图 1低铈bobapp应用粉2.高铈bobapp应用粉氧化铈含量在80%以上称为高铈bobapp应用粉,此种bobapp应用粉氧化铈的含量越高,bobapp应用能力越大,使用寿命也越长,主要用于硬质玻璃和光学晶体表面bobapp应用。颜色有白色和土红色。   
  • bobapp应用粉的种类

    bobapp应用粉的种类

    bobapp应用粉通常由氧化铈、氧化铝、氧化硅、氧化锆等组成份组成,不同的材料的硬度不同,在水中的化学性质也不同,因此使用领域也各有不同。这几种材料氧化铝和氧化锆的莫氏硬度为9,氧化铈和氧化硅莫氏硬度为7,氧化铈与硅盐酸玻璃的化学活性较高,硬度相当,因此广泛用于玻璃bobapp应用。
  • 常用的bobapp应用方法有哪些

    常用的bobapp应用方法有哪些

    1.1机械bobapp应用机械bobapp应用是靠切削、材料表面塑性变形去掉被bobapp应用后的凸部而得到平滑面的bobapp应用方法,一般使用油石条、羊毛轮、砂纸等,以手工操作为主,特殊零件如回转体表面,可使用转台等辅助工具,表面质量要求高的可采用超精研抛的方法。超精研抛是采用特制的磨具,在含有磨料的研抛液中,紧压在工件被加工表面上,作高速旋转运动。利用该技术可以达到Ra0.008μm的表面粗糙度,是各种bobapp应用方法中*高的。光学镜片模具常采用这种方法。1.2化学bobapp应用化学bobapp应用是让材料在化学介质中表面微观凸出的部分较凹部分优先溶解,从而得到平滑面。这种方法的主要优点是不需复杂设备,可以bobapp应用形状复杂的工件,可以同时bobapp应用很多工件,效率高。化学bobapp应用的核心问题是bobapp应用液的配制。化学bobapp应用得到的表面粗糙度一般为数10μm。1.3电解bobapp应用电解bobapp应用基本原理与化学bobapp应用相同,即靠选择性的溶解材料表面微小凸出部分,使表面光滑。与化学bobapp应用相比,可以消除阴极反应的影响,效果较好。电化学bobapp应用过程分为两步:(1)宏观整平:溶解产物向电解液中扩散,材料表面几何粗糙下降,Ralμm。 (2)微光平整: 阳极极化,:表面光亮度提高,Ralμm。1.4超声波bobapp应用将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中,依靠超声波的振荡作用,使磨料在工件表面磨削bobapp应用。超声波加工宏观力小,不会引起工件变形,但工装制作和安装较困难。超声波加工可以与化学或电化学方法结合。在溶液腐蚀、电解的基础上,再施加超声波振动搅拌溶液,使工件表面溶解产物脱离,表面附近的腐蚀或电解质均匀;超声波在液体中的空化作用还能够抑制腐蚀过程,利于表面光亮化。1.5流体bobapp应用流体bobapp应用是依靠高速流动的液体及其携带的磨粒;中刷工件表面达到bobapp应用的目的。常用方法有:磨科喷射加工、液体喷射加工、流体动力研磨等。流体动力研磨是由液压驱动,使携带磨粒的液体介质高速往复流过工件表面。介质主要采用在较低压力下流过性好的特殊化合物(聚合物状物质)并掺上磨料制咸,磨料可采用碳化硅粉末。1.6磁研磨bobapp应用磁研磨bobapp应用是利用磁性磨料在磁场作用下形成磨料刷,对工件磨削加工。这种方法加工效率高,质量好,加工条件容易控制,工作条件好。采用合适的磨料,表面粗糙度可以达到Ra0.1μm。
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