加入收藏
您好,欢迎光临丹阳市中研研磨材料科技有限公司
0511-81596315 13861347981
丹阳市中研研磨材料科技有限公司
热门关键词:切片bobapp应用皮 切片金刚石bobapp应用液树脂铜盘/铁盘
简单了解氧化铝研磨bobapp应用微粉及其稳定性
2019-04-22
image.png

化学机械bobapp应用(Chemical Mechanical Polishing,CMP)技术是提供全局平坦化的表面精加工技术,其中bobapp应用液是CMP技术中的关键因素。bobapp应用液主要由磨料、溶剂和添加剂组成,其种类、性质、粒径大小、颗粒分散度及稳定性等与*终bobapp应用效果密切相关。

<目前市场上使用*为广泛的几种磨料是SiO2、CeO2、Al2O3。其中,SiO2bobapp应用液选择性、分散性好,机械磨损性能较好,化学性质活泼,并且后清洗过程处理较容易;缺点为在bobapp应用过程中易产生凝胶,对硬底材料bobapp应用速率低。CeO2bobapp应用液的优点是bobapp应用速率高,材料去除速率高;缺点是黏度大、易划伤,且选择性不好,后续清洗困难。Al2O3bobapp应用液的缺点在于选择性低、分散稳定性不好、易团聚等,但对于硬底材料蓝宝石衬底等却具有优良的去除速率。

Al2O3bobapp应用液简介

Al2O3bobapp应用液简介:α-氧化铝(刚玉)的硬度高,稳定性好,纳米级的氧化铝适用于光学镜头、单芯光纤连接器、微晶玻璃基板、晶体表面等的精密bobapp应用,应用相当广泛。当前,以高亮度GaN基蓝光LED为核心的半导体照明技术在照明领域引起了很大的轰动,并成为全球半导体领域研究的热点。但GaN很难制备,必须在其它衬底晶片上外延生长薄膜,如蓝宝石晶片或碳化硅晶片,因此晶片的bobapp应用也成为关注的焦点。

近年来,国际上采用了一种新的工艺,即用Al2O3bobapp应用液一次完成蓝宝石、碳化硅晶片的研磨和bobapp应用,大大提高bobapp应用效率。不过,由于纳米α-氧化铝的硬度很高,因此bobapp应用时易对工件表面造成严重的损伤;而且纳米氧化铝的表面能比较高,粒子易团聚,也会造成bobapp应用工件的划痕、凹坑等表面缺陷。近年来对氧化铝bobapp应用液的研究主要集中在纳米磨料制备、氧化铝颗粒表面改性、氧化铝bobapp应用液混合应用等方面。

Fl69wfLVJFz7K-bSMYabOUwQ9PRD.png

Al2O3bobapp应用液磨料的制备

<在化学机械bobapp应用中使用的氧化铝磨料,常选用硬度大、性能稳定、不溶于水、不溶于酸碱的纳米α-Al2O3。作为化学机械bobapp应用磨料,氧化铝颗粒的大小、形状、粒度分布都影响bobapp应用效果。在LED行业,CMPbobapp应用液中常选用粒径50∼200 nm、粒径分布均匀的纳米α-Al2O3。近年来对α-Al2O3磨料颗粒的研究主要集中在纳米级球形颗粒的制备上。常见制备方法有以下几种。

固相法其中的硫酸铝铵热解法、改良拜尔法、爆炸法等是比较成熟的制备方法。固相法制备超细粉体的流程简单,无需溶剂,产率较高,但生成的粉体易产生团聚,且粒度不易控制,难以得到分布均匀的小粒径的高质量纳米粉体。

FkcZyZYXV4OTVkrHXqaCysXfl2oS.jpg

气相法。主要有化学气相沉淀法,通过加热等方式改变物质形态,在气体状态下发生反应,之后在冷却过程中形成颗粒。气相法的优点是反应条件可以控制、产物易精制,颗粒分散性好、粒径小、分布窄,但产出率低,粉末难收集。<br><b

液相法。常见的有水解、喷雾干燥、溶胶凝胶、乳化等几种方法。液相法的优点体现在:可精确控制产物的化学组成,纳米粒子的表面活性高,形状容易控制分散均匀,生产成本比较低,容易实现工业化生产。

提高Al2O3bobapp应用液稳定性的方法

近年来随着LED产业的发展、宝石衬底需求量的增大,氧化铝bobapp应用液凭借较高的bobapp应用速率在蓝宝石bobapp应用液中有很好的应用前景。然而氧化铝bobapp应用液在bobapp应用过程中存在分散稳定性差、bobapp应用过程容易出现凝聚现象使bobapp应用面出现划痕的问题。有许多研究者对提高氧化铝bobapp应用液稳定性进行了研究。

纳米氧化铝颗粒在极性的水溶液中,氧化铝颗粒由于受静电力等作用发生团聚,容易出现絮凝分层等现象,破坏bobapp应用液的分散性、稳定性。由磨料颗粒的团聚现象产生的大颗粒胶团,是化学机械bobapp应用过程中衬底表面出现划痕的主要原因。氧化铝颗粒的粒径大小及分布、Zeta电位,以及bobapp应用液添加稳定剂、分散剂的种类和质量对bobapp应用液稳定性有较大的影响。

对纳米氧化铝表面改性可提高颗粒表面规则度,减少bobapp应用划痕和凹坑,同时提高氧化铝磨料分散度和bobapp应用液稳定性。常见的处理方法为利用偶联剂、有机物、无机物等在硬度较高的氧化铝粒子表面包覆一层较软的物质以减少bobapp应用划痕和凹坑等缺陷,进而改善氧化铝bobapp应用液的稳定性和分散性,同时能有效提高bobapp应用磨料的耐磨性能。此外,还可以通过改变氧化铝颗粒Zeta电位来提高bobapp应用液的稳定性。

Al2O3bobapp应用液存在的问题FsSDiqrcNEYOxpOyR9SkVAYMZ5Bw.jpg磨料粒子的分散问题。目前,国内外常用超声波、机械搅拌、表面处理等机械化学方法对纳米磨料粒子进行分散,但是往往达不到效果,因此,纳米磨料粒子的分散稳定性需要进一步的研究。<br><br>bobapp应用液对环境的影响。化学机械bobapp应用液中的化学成分,如氨、酸等有毒成分对环境和人体的伤害很大。为此,在进一步研究bobapp应用液制备工艺的同时,bobapp应用液的循环利用技术也应进一步完善,做到经济发展与环境保护相协调。

暂无评论!
我要评论 只有购买过该商品的用户才能评论。

Copyright © 丹阳市中研研磨材料科技有限公司

电话号码:0511-81596315 地址:江苏省丹阳市丹北镇 新桥金桥新村3号楼

  • QQ咨询
  • QQ QQ
  • 电话咨询
  • 17301447660
  • 0511-81596315