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热门关键词:切片bobapp应用皮 切片金刚石bobapp应用液树脂铜盘/铁盘
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蓝宝石bobapp应用液

产品描述在蓝宝石的bobapp应用工艺中, 常用的磨料主要包括金刚石、二氧化硅溶胶、氧化铈和氧化铝等磨料。 实验数据表明,a-氧化铝bobapp应用粉(0.3um,球型)在蓝宝石bobapp应用过程中的优势明显,****。 其一:bobapp应用粉硬度比较: 1) 金刚石只用于传统的机械bobapp应用,其硬度(莫氏10)比蓝宝石(莫氏 9)硬度高,容易产生划伤,蓝宝石表面损伤度高,良率低。 2)氧化铝的硬度与蓝宝石相当,颗粒球型,bobapp应用速率高,不易起划伤,良率高,是比较理想的bobapp应用材料。 3)SiO2硬度(莫氏硬度7.5)比蓝宝石低,bobapp应用速率比氧化铝bobapp应用粉慢很多,bobapp应用比较耗时。 其二:bobapp应用效果比较: 在bobapp应用C-平面蓝宝石衬底时,a-氧化铝bobapp应用粉(0.3um)制成的研磨液的bobapp应用性能(去除速率和表面质量等)优于其他磨料, 具体表现如下: 1)形成的水化层增加,bobapp应用过程中,在蓝宝石基底上持续形成水化层,它比基底层软,该层的形成有利于材料的去除,并产生高质量表面。 2)表面质量改善,a-氧化铝与基底蓝宝石的硬度一样,因此,磨料划伤蓝宝石的可能性很小。 3)去除速率增加,a-氧化铝磨料经历了与基底蓝宝石一样的表面水化,在基底宝石与磨料水化层之间的化学机械作用加速了材料去除,当磨料和基底蓝宝石的表面在bobapp应用压力下靠在一起并剪切时,就相互粘附,进一步的剪切就会使粒子撕开键合的水化层,通过粒子的前边沿促进材料去除。表面粗糙度能小于0.2nm. 4)氧化铝bobapp应用液在循环过程中稳定性更好,二氧化硅bobapp应用液在使用过程中温度必须严格控制,以防止结块,但氧化铝研磨液就比较稳定,也显示了很好的洁净度。 实验1:采用氧化铝bobapp应用粉对蓝宝石衬底进行bobapp应用,bobapp应用液的pH为10时bobapp应用****,表面粗糙度RMS可达0.2nm。bobapp应用压力在0. 12Mpa 至0. 15Mpa ,bobapp应用液浓度为10%时较佳。浓度越高,bobapp应用速率越快。 目前很多**的蓝宝石加工厂正在评估并使用基于氧化铝研磨液用于更大直径晶圆bobapp应用。

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